很多工业生产中都会副产氯化氢。在多晶硅的生产过程中不仅会产生氯化氢，还会产生其他多种有害气体。

    多晶硅生产过程中会产生氯气、氢气、三氯氢硅、氯化氢等有害物质，主要危险特性有：
     1)氢气：与空气混合能形成爆炸性混合物，遇热或明火即会发生爆炸。气体比空气轻，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火星会引起爆炸。氢气与氟、氯、溴等卤素会剧烈反应。（氯化氢）
     2)氧气：助燃物、可燃物燃烧爆炸的基本要素之一，能氧化大多数活性物质。与易燃物(如乙炔、甲烷等)形成有爆炸性的混合物。
     3)氯：有刺激性气味，能与许多化学品发生爆炸或生成爆炸性物质。几乎对金属和非金属都起腐蚀作用。属高毒类。是一种强烈的刺激性气体。
     4) 氯化氢：无水氯化氢无腐蚀性，但遇水时有强腐蚀性。能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢气。遇氰化物能产生剧毒的氰化氯化氢。
     5)三氯氢硅：遇明火强烈燃烧。受高热分解产生有毒的氯化物气体。与氧化剂发生反应，有燃烧危险。极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。燃烧(分解)产物：氯化氢、氧化硅。
     6)四氯化硅：受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。
     7)氢氟酸：腐蚀性极强。遇H发泡剂立即燃烧。能与普通金属发生反应，放出氢气而与空气形成爆炸性混合物。
     8)硝酸：具有强氧化性。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。与碱金属能发生剧烈反应。具有强腐蚀性。
     9)氮气：若遇高热，容器内压增大。有开裂和爆炸的危险。
    10)氟化氢：腐蚀性极强。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。

    副产物氯化氢等有害物质在工业生产中的危害需引起相关部门的注意，这是保证安全生产的重要前提。