发展循环经济的今天，对于氯化氢等众多化工副产物的回收再利用是非常重的一环。那么在三氯氢硅的生产中，氯化氢的回收循环也是重点。

    未被冷凝下来的氯化氢、氢气、氯气返回氯化氢合成系统，氢气与氯气按一定比例混合，燃烧生成氯化氢，循环使用。
    采用综合回收方法使合成工序开路工艺流程变为闭路循环，提高原材料利用率，降低了原材料单耗，实现了无废气排出，彻底解决了环境污染问题。但是，尾气中含有的微量氯硅烷容易与氯化氢中的水反应生成固体二氧化硅堵塞管道，降低三氯氢硅的收率。

    此方法因其原材料氯化氢的强吸水性，在运行过程中可能会遇到其他的问题，所以，不是最好的处理方式。