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电子特气的净化更加至关重要

返回  打印  发布时间:2018-2-27 点击:4973

    现在推动科技发展的高新技术有很多,电子工业也是当之无愧的高新技术产业,电子特种气体的发展更是直接带动高新技术产业发展的重要关键,今天就为大家介绍一下这个当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。
    电子气体是指用于半导体及其它电子产品生产的气体,与传统的工业气体相比,电子气体特殊在气体的纯净度要求极高,所以也称为电子特种气体。   
    电子特气广泛应用于半导体、微电子和关联的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜堆积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、维护气氛等等。因为半导体和微电子技能向更高功能、更高集成度开展,对电子特气的纯度提出了越来越高的需求,电子特气的净化更加关键和重要。
    目前国内的超高纯度净化技能首要依靠进口,本身的技能水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大距离。本项目将描绘和研制一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新式纳米净化剂,对MO源、惰性气体、氢化物气体、反响性气体、腐蚀性气体等5个系列,50多种电子特气进行结尾净化,使电子特气纯度由ppm级进步到ppb、ppt级,并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,然后极大地改进工艺才能,下降产物缺点, 进步制程的产值,满意下一代半导体、微电子以及关联高技能开展的需求。本项目将构成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技能,处理超高纯度电子特气净化这一核心技能的国产化问题。
    以上内容就是言赫今天为大家介绍关于电子特气的有关知识,相信您已经对这个新型产业有了一定的了解,如果您还有什么想要咨询的,欢迎来电咨询。
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